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龍圖騰網(wǎng)獲悉芯恩(青島)集成電路有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的噴灑裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223693068U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-19發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422866738.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該實(shí)用新型一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的噴灑裝置是由楊偉霞;王浩浩設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的噴灑裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的噴灑裝置，包括基板，開設(shè)有多個(gè)噴出孔，所述噴出孔用于噴出氣體以加工晶圓片；清潔薄膜，設(shè)置于所述基板端面，所述清潔薄膜上開設(shè)有與所述噴出孔對(duì)應(yīng)的清潔孔；所述清潔薄膜的一面為連接面，另一面為沾附面；所述連接面用于將所述清潔薄膜與所述基板連接，所述沾附面用于沾附晶圓片加工產(chǎn)生的副產(chǎn)物。本實(shí)用新型能夠使反應(yīng)過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物不會(huì)對(duì)噴出頭表面造成損壞或沾附在噴出頭的表面。

本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的噴灑裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備的噴灑裝置，其特征在于，包括： 基板100，開設(shè)有多個(gè)噴出孔110，所述噴出孔110用于噴出氣體以加工晶圓片； 清潔薄膜200，設(shè)置于所述基板100端面，所述清潔薄膜200上開設(shè)有與所述噴出孔110對(duì)應(yīng)的清潔孔210； 所述清潔薄膜200的一面為連接面220，另一面為沾附面230；所述連接面220用于將所述清潔薄膜200與所述基板100連接，所述沾附面230用于沾附晶圓片加工產(chǎn)生的副產(chǎn)物。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人芯恩(青島)集成電路有限公司，其通訊地址為：266000 山東省青島市黃島區(qū)太白山路19號(hào)德國(guó)企業(yè)南區(qū)401；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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