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龍圖騰網(wǎng)獲悉傲迪特半導(dǎo)體(南京)有限公司申請的專利半導(dǎo)體清洗裝置獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223693080U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-19發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202423254260.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該實(shí)用新型半導(dǎo)體清洗裝置是由茆宏;寧江斌;郁言威;高興;陸嘉黎;李民;王耽耽設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本半導(dǎo)體清洗裝置在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了半導(dǎo)體清洗裝置，包括清洗桶，所述清洗桶底部一側(cè)安裝有排污管，所述清洗桶底面中心安裝有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)輸出軸末端固定安裝有安裝框，所述安裝框內(nèi)側(cè)底面開設(shè)有底定位槽，所述安裝框外側(cè)底面旋轉(zhuǎn)安裝有支撐輪，所述安裝框側(cè)壁開設(shè)有軌道窗，所述軌道窗內(nèi)安裝有鎖定螺栓，所述鎖定螺栓一端安裝有鎖定螺母，所述鎖定螺栓另一端與鎖定板側(cè)面連接固定，所述鎖定板設(shè)置在安裝框內(nèi)，所述鎖定板頂面和底面開設(shè)有鎖定槽。該半導(dǎo)體清洗裝置，采用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，不僅能夠?qū)Σ煌叽绲木A進(jìn)行穩(wěn)定固定，而且定位機(jī)構(gòu)能夠穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)，配合沖洗機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對晶圓的全面清理，同時還能夠進(jìn)行浸泡清理，保證清理效果。

本實(shí)用新型半導(dǎo)體清洗裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.半導(dǎo)體清洗裝置，包括清洗桶1，其特征在于：所述清洗桶1底部一側(cè)安裝有排污管2，所述清洗桶1底面中心安裝有伺服電機(jī)3，所述伺服電機(jī)3輸出軸末端固定安裝有安裝框4，所述安裝框4內(nèi)側(cè)底面開設(shè)有底定位槽5，所述安裝框4外側(cè)底面旋轉(zhuǎn)安裝有支撐輪6，所述安裝框4側(cè)壁開設(shè)有軌道窗7，所述軌道窗7內(nèi)安裝有鎖定螺栓8，所述鎖定螺栓8一端安裝有鎖定螺母9，所述鎖定螺栓8另一端與鎖定板10側(cè)面連接固定，所述鎖定板10設(shè)置在安裝框4內(nèi)，所述鎖定板10頂面和底面開設(shè)有鎖定槽11，所述清洗桶1側(cè)壁頂部安裝有卡板12，所述卡板12位于清洗桶1外側(cè)的末端螺紋安裝有定位螺栓13，所述定位螺栓13末端與定位孔14連接，所述定位孔14開設(shè)在清洗桶1外壁頂部，所述卡板12位于清洗桶1內(nèi)側(cè)的表面固定安裝有沖洗管15，所述沖洗管15上安裝有噴頭16。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人傲迪特半導(dǎo)體(南京)有限公司，其通訊地址為：210034 江蘇省南京市棲霞區(qū)潤華路3號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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