中山市新益昌自動化設備有限公司胡新榮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中山市新益昌自動化設備有限公司申請的專利固晶轉塔裝置及固晶設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223693085U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202423323224.4,技術領域涉及:H01L21/67;該實用新型固晶轉塔裝置及固晶設備是由胡新榮;張燕設計研發完成,并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本固晶轉塔裝置及固晶設備在說明書摘要公布了:本實用新型適用于半導體設備技術領域,提供了一種固晶轉塔裝置及固晶設備,上述固晶轉塔裝置包括旋轉驅動機構、定位盤組、擺臂驅動單元以及擺臂機構。固晶設備包括上述任一項所述的固晶轉塔裝置。相比之前的單邦單臂單邦兩臂結構增加了擺臂機構的數量,且多個第一安裝面繞第一軸線均勻設置多個擺臂機構又分別滑動連接于第一安裝面上,可以使每個擺臂機構每次轉動的角度相同,使擺臂組件的控制更加方便,減少了單個擺臂機構運動角度,也減小了擺臂機構移動芯片時的震動。此外擁有連續旋轉的多個獨立工位,可以在工作時,通過多個擺臂機構連續吸取供晶位的芯片至安裝基板,使固晶的效率效率得到有效的提升,固晶效率達到常規固晶設備的數倍。
本實用新型固晶轉塔裝置及固晶設備在權利要求書中公布了:1.一種固晶轉塔裝置,其特征在于,包括旋轉驅動機構、定位盤組、擺臂驅動單元以及擺臂機構,所述定位盤組具有繞第一軸線轉動的自由度,所述定位盤組上具有多個第一安裝面,多個所述第一安裝面繞所述第一軸線均勻分布,所述旋轉驅動機構的驅動端與所述定位盤組相連,用于驅動所述定位盤組繞第一軸線轉動,所述擺臂機構的數量為多個,多個所述擺臂機構分別滑動安裝于所述第一安裝面上,且用于吸取或放置芯片,所述擺臂驅動單元的數量為多個,且與所述擺臂機構一一對應設置,多個所述擺臂驅動單元均設置于所述定位盤組上,且用于驅動對應的所述擺臂機構沿所述第一軸線方向往復運動。
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