浙江大族富創得科技有限公司楊松獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江大族富創得科技有限公司申請的專利一種升降式晶圓檢片組件獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223693087U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422826373.6，技術領域涉及：H01L21/673；該實用新型一種升降式晶圓檢片組件是由楊松;劉福誠;劉昌勝設計研發完成，并于2024-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種升降式晶圓檢片組件在說明書摘要公布了：本實用新型涉及半導體技術領域，具體為一種升降式晶圓檢片組件，包括引導晶圓盒的座緣部、承載座緣部的風箱側板以及帶動風箱側板和座緣部的升降背板，升降背板連接升降驅動；風箱側板內壁還設有晶圓盒狀態傳感器和晶圓突出傳感器，座緣部內部設有抓蓋機構；抓蓋結構將晶圓盒蓋鎖定抓取，升降驅動帶動升降背板運動，進而帶動風箱側板以及座緣部一同升降，晶圓盒狀態傳感器和晶圓突出傳感器對晶圓進行狀態檢測；本實用新型，整體結構精簡，將開蓋動作與檢測整合，縮小設備體積，整合多種工作狀態場景，兼顧兼容存片、取片、開蓋、關蓋過程中的晶圓檢測需求，減少晶圓在制造與運輸過程中的風險，避免晶圓因彎折、突出造成后續更大的制造質量問題。
本實用新型一種升降式晶圓檢片組件在權利要求書中公布了：1.一種升降式晶圓檢片組件，其特征在于，包括引導晶圓盒的座緣部41、承載座緣部41的風箱側板42以及帶動風箱側板42和座緣部41的升降背板43，所述升降背板43連接升降驅動；所述風箱側板42內壁還設有晶圓盒狀態傳感器47和晶圓突出傳感器48，所述座緣部41內部設有抓蓋機構44； 開蓋檢片時，抓蓋機構44將晶圓盒蓋鎖定抓取，升降驅動帶動升降背板43運動，進而帶動風箱側板42以及座緣部41一同升降，在升降過程中，晶圓盒狀態傳感器47和晶圓突出傳感器48對晶圓進行狀態檢測。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大族富創得科技有限公司，其通訊地址為：314211 浙江省嘉興市平湖市新埭鎮創新路139號內第3幢313室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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