浙江大族富創得科技有限公司楊松獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江大族富創得科技有限公司申請的專利一種晶圓裝載與檢測集成裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223693088U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422826427.9，技術領域涉及：H01L21/673；該實用新型一種晶圓裝載與檢測集成裝置是由楊松;劉福誠;劉昌勝設計研發完成，并于2024-11-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓裝載與檢測集成裝置在說明書摘要公布了：本實用新型涉及半導體技術領域，具體為一種晶圓裝載與檢測集成裝置，包括底架和背板，其特征在于，所述底架內置安裝腔體，安裝腔體中設置有承載并識別晶圓盒的讀盒載臺以及對晶圓盒與晶圓進行的檢測的檢測框架機構；所述檢測框架機構罩設在讀盒載臺外圍，并且檢測框架機構在升降組件驅動下，在背板的前端面進行升降動作；本實用新型，整體結構精簡，將晶圓盒的承載功能，與晶圓盒開蓋后對晶圓搬運結果的質量把控功能進行整合；整體縮小設備體積，兼顧晶圓在存片、取片、開蓋、關蓋過程中的對晶圓檢測需求，減少晶圓在制造與加工過程中多次檢測作業工序，減少晶圓的污染、彎折、以及存放突出造成后續更大的制造質量問題。
本實用新型一種晶圓裝載與檢測集成裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓裝載與檢測集成裝置，包括底架1和背板2，其特征在于，所述底架1內置安裝腔體，安裝腔體中設置有承載并識別晶圓盒的讀盒載臺3以及對晶圓盒與晶圓進行的檢測的檢測框架機構4；所述檢測框架機構4罩設在讀盒載臺3外圍，并且檢測框架機構4在升降組件5驅動下，在背板2的前端面進行升降動作；所述檢測框架機構4包括引導晶圓盒的座緣部41、承載座緣部41的風箱側板42以及帶動風箱側板42和座緣部41運動的升降背板43，所述升降背板43連接升降組件5；所述風箱側板42內壁設有晶圓盒狀態傳感器47和晶圓突出傳感器48，所述座緣部41內部設有抓蓋機構44； 裝載檢測時，讀盒載臺3承載并固定晶圓盒，由升降組件5驅動升降背板43升降，帶動抓蓋機構44實現晶圓盒的開盒以抓取，晶圓盒狀態傳感器47和晶圓突出傳感器48實現檢測作業。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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