久智光電子材料科技有限公司張鵬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉久智光電子材料科技有限公司申請的專利防止晶圓掉落的石英舟獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223693090U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202423276912.X，技術領域涉及：H01L21/673；該實用新型防止晶圓掉落的石英舟是由張鵬;谷巨明;胡海雨;高朝亮;陳春明;李學彪設計研發完成，并于2024-12-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本防止晶圓掉落的石英舟在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種防止晶圓掉落的石英舟，屬于石英制品加工技術領域，包括石英舟本體和限位組件，石英舟本體包括架體、下槽棒組和上槽棒組；架體具有兩個平行的端板，兩個端板之間形成容納空間，下槽棒組和上槽棒組均位于容納空間內用于限位晶圓；上槽棒組包括兩個對稱設置的上槽棒，兩個上槽棒之間為容許晶圓插入的端口區；限位組件包括兩個對稱設置的限位槽棒，兩個限位槽棒位于端口區的上側，且兩個限位槽棒的間距小于或等于端口區的寬度，用于限位晶圓的邊緣。本實用新型提供的防止晶圓掉落的石英舟，通過端口區的外側增加兩個限位槽棒，在容許晶圓通過的同時增加對端口區的覆蓋和遮擋，防止晶圓旋轉時自端口區脫落。
本實用新型防止晶圓掉落的石英舟在權利要求書中公布了：1.防止晶圓掉落的石英舟，其特征在于，包括： 石英舟本體，所述石英舟本體包括架體、下槽棒4組和上槽棒3組；所述架體具有兩個平行的端板1，兩個所述端板1之間形成容納空間，所述下槽棒4組和所述上槽棒3組均位于所述容納空間內用于限位晶圓；所述上槽棒3組包括兩個對稱設置的上槽棒3，兩個所述上槽棒3之間為容許晶圓插入的端口區； 限位組件，所述限位組件位于所述容納空間內，所述限位組件包括兩個對稱設置的限位槽棒2，兩個所述限位槽棒2位于所述端口區的上側，且兩個所述限位槽棒2的間距小于或等于所述端口區的寬度，用于限位晶圓的邊緣。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人久智光電子材料科技有限公司，其通訊地址為：065000 河北省廊坊市廊坊開發區華祥路；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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