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龍圖騰網(wǎng)獲悉彌費科技(上海)股份有限公司申請的專利可搬運晶圓盒的緩存設(shè)備獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223693094U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-19發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202423303969.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該實用新型可搬運晶圓盒的緩存設(shè)備是由張國鵬;張玉龍;繆峰設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本可搬運晶圓盒的緩存設(shè)備在說明書摘要公布了：本申請涉及一種可搬運晶圓盒的緩存設(shè)備，能夠在晶圓盒搬運過程中保持平穩(wěn)，包括機臺、升降模組、第一擺動模組、第二擺動模組和夾持機構(gòu)；其中，升降模組、第一擺動模組用以帶動夾持機構(gòu)移動，以拾取或釋放晶圓盒；第二擺動模組用以使夾持機構(gòu)相對于第一擺動模組的擺臂反向旋轉(zhuǎn)。

本實用新型可搬運晶圓盒的緩存設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種可搬運晶圓盒的緩存設(shè)備，用以向晶圓處理設(shè)備搬運晶圓盒，其特征在于，包括： 機臺，設(shè)有用以放置晶圓盒的臺面模組； 升降模組，所述升降模組設(shè)置于所述機臺，所述升降模組包括升降板、以及用以驅(qū)動所述升降板升降的升降驅(qū)動組件； 第一擺動模組，所述第一擺動模組包括設(shè)于所述升降板的第一擺動驅(qū)動組件、以及擺臂，所述擺臂的底端與所述第一擺動驅(qū)動組件傳動連接且能夠在所述第一擺動驅(qū)動組件的帶動下相對所述機臺擺動； 第二擺動模組，設(shè)置于所述擺臂，所述第二擺動模組包括第二擺動驅(qū)動組件；以及 夾持機構(gòu)，所述夾持機構(gòu)轉(zhuǎn)動設(shè)于所述擺臂的頂端，所述夾持機構(gòu)包括夾持驅(qū)動組件、以及由所述夾持驅(qū)動組件驅(qū)動開合的夾爪，所述夾持機構(gòu)能夠在所述第二擺動驅(qū)動組件的驅(qū)動下相對于所述擺臂反向旋轉(zhuǎn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人彌費科技(上海)股份有限公司，其通訊地址為：201306 上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)飛渡路588號1幢A區(qū)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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