東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司許鴻亮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司申請的專利傳片裝置獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223693095U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202423317441.2,技術領域涉及:H01L21/677;該實用新型傳片裝置是由許鴻亮;米濤;肖博濤設計研發完成,并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本傳片裝置在說明書摘要公布了:本申請公開了一種傳片裝置,包括傳輸結構、旋轉組件和升降組件,傳輸結構具有用于承載晶圓的承載部;旋轉組件包括旋轉驅動件和旋轉連接件,旋轉驅動件的旋轉驅動端與傳輸結構分別連接于旋轉連接件在高度方向上的兩端;升降組件包括沿水平方向間隔設置的升降驅動件和升降連接件,升降連接件連接于升降驅動件的升降驅動端與旋轉組件之間,以驅動旋轉組件沿高度方向移動。本申請的傳片裝置,能夠在真空環境中實現對晶圓準確的傳片操作,保證傳片精度,并且裝置成本較低,整體高度和占用空間均較低。
本實用新型傳片裝置在權利要求書中公布了:1.一種傳片裝置,其特征在于,包括: 傳輸結構,具有用于承載晶圓的承載部; 旋轉組件,包括旋轉驅動件和旋轉連接件,所述旋轉驅動件的旋轉驅動端與所述傳輸結構分別連接于所述旋轉連接件在高度方向上的兩端; 升降組件,包括升降驅動件和升降連接件,所述升降驅動件與所述旋轉驅動件沿水平方向間隔設置,所述升降連接件連接于所述升降驅動件的升降驅動端與所述旋轉組件之間,以驅動所述旋轉組件沿所述高度方向移動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司,其通訊地址為:100176 北京市大興區北京經濟技術開發區經海四路156號院12號樓;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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