南京原磊納米材料有限公司鄭錦獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉南京原磊納米材料有限公司申請的專利一種晶圓反應腔的運動機構和晶圓反應設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223693096U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202423321714.0，技術領域涉及：H01L21/677；該實用新型一種晶圓反應腔的運動機構和晶圓反應設備是由鄭錦;王叢云;李立松設計研發完成，并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓反應腔的運動機構和晶圓反應設備在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體生成設備領域，提供一種晶圓反應腔的運動機構和晶圓反應設備，運動機構包括至少兩個提升裝置和浮動連接裝置；浮動連接裝置包括第一連接體和第二連接體，第一連接體包括浮動套筒，且浮動套筒連接提升裝置的運動末端；第二連接體設置在浮動套筒內，且第二連接體連接晶圓反應腔的腔體，第二連接體與浮動套筒之間浮動連接。在本申請實施例中，當兩側提升裝置的運動末端運動不完全同步時，由于腔體的重力，以及，第一連接體與第二連接體之間浮動連接的共同作用，可以使處于腔體兩側的第二連接體的末端水平高度相同，這樣，在至少兩個提升裝置同步運動時，本申請實施例提供的浮動連接裝置可以改善腔體的水平度。
本實用新型一種晶圓反應腔的運動機構和晶圓反應設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓反應腔的運動機構，包括至少兩個提升裝置1，其特征在于，還包括：浮動連接裝置2； 所述浮動連接裝置2包括第一連接體21和第二連接體22，所述第一連接體21包括浮動套筒211，且所述浮動套筒211連接所述提升裝置1的運動末端； 所述第二連接體22設置在所述浮動套筒211內，且所述第二連接體22連接晶圓反應腔的腔體100，所述第二連接體22與所述浮動套筒211之間浮動連接，以在至少兩個所述提升裝置1同步運動時，改善所述腔體100的水平度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人南京原磊納米材料有限公司，其通訊地址為：210000 江蘇省南京市江北新區浦云路266號青云大廈B棟22層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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