中山市新益昌自動化設備有限公司胡新榮獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中山市新益昌自動化設備有限公司申請的專利固晶擺臂機構及固晶設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223693098U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202423323695.5,技術領域涉及:H01L21/677;該實用新型固晶擺臂機構及固晶設備是由胡新榮;張燕;方俊杰設計研發完成,并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本固晶擺臂機構及固晶設備在說明書摘要公布了:本實用新型適用于半導體設備技術領域,提供了一種固晶擺臂機構及固晶設備,上述固晶擺臂機構包括吸嘴結構、擺臂本體以及驅動單元。固晶設備包括上述任一項所述的固晶擺臂機構。固晶擺臂機構進行固晶工作時,在吸嘴結構隨著擺臂本體一同運動的同時,還可以通過驅動單元驅動吸嘴結構進行轉動,可以在固晶時對芯片的偏移進行修正,從而保證固晶的精度。同時將驅動單元與吸嘴結構均設置在擺臂本體上,可以使驅動單元的驅動端與吸嘴結構之間的距離不會由于擺臂本體的運動或者安裝情況發生變化,從而使驅動單元的驅動端與吸嘴結構之間的傳動更加精確,從而保證了在進行工作時吸嘴組件的轉動精度,進而提高了固晶的精度。
本實用新型固晶擺臂機構及固晶設備在權利要求書中公布了:1.一種固晶擺臂機構,其特征在于,包括: 吸嘴結構,用于通過負壓吸取芯片; 擺臂本體,具有相對設置的固晶端與安裝端,所述安裝端用于與動力單元的驅動端相連,所述吸嘴結構轉動設置于所述擺臂本體的固晶端;以及 驅動單元,設置于所述擺臂本體靠近所述安裝端的區域,用于驅動所述吸嘴結構轉動,所述驅動單元與所述吸嘴結構之間設置有傳動單元。
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