鄭州合晶硅材料有限公司吳泓明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉鄭州合晶硅材料有限公司申請的專利一種用于改善離子注入工藝中基板背面損傷的壓板獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223693102U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202423128656.X，技術領域涉及：H01L21/683；該實用新型一種用于改善離子注入工藝中基板背面損傷的壓板是由吳泓明;鐘佑生;李元祥;黃郁璿設計研發完成，并于2024-12-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于改善離子注入工藝中基板背面損傷的壓板在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種用于改善離子注入工藝中基板背面損傷的壓板，包括壓板本體，所述壓板本體上設有緩沖層，所述緩沖層與基板背面的摩擦系數小于所述壓板本體與所述基板背面的摩擦系數；所述緩沖層上設有供基板頂針穿過的通孔和散熱孔；所述緩沖層為絕緣材質。本申請可有效避免300mm基板背面離子注入后出現接觸性損傷的情況，改善基板的外觀損傷，降低后續制程中的顆粒污染風險。
本實用新型一種用于改善離子注入工藝中基板背面損傷的壓板在權利要求書中公布了：1.一種用于改善離子注入工藝中基板背面損傷的壓板，包括壓板本體，其特征在于， 所述壓板本體上設有緩沖層，所述緩沖層與基板背面的摩擦系數小于所述壓板本體與所述基板背面的摩擦系數； 所述緩沖層上設有供基板頂針穿過的頂針孔和散熱孔； 所述緩沖層為絕緣材質。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人鄭州合晶硅材料有限公司，其通訊地址為：451162 河南省鄭州市鄭州航空港經濟綜合實驗區規劃工業四路以南、華夏大道以西；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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