上海裕詩實業有限公司褚書明獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海裕詩實業有限公司申請的專利一種固定晶圓的卡具獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223693111U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202423163455.3,技術領域涉及:H01L21/687;該實用新型一種固定晶圓的卡具是由褚書明;沈陳軍;徐康;彭代全設計研發完成,并于2024-12-20向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種固定晶圓的卡具在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種固定晶圓的卡具,所述卡具包括卡座和卡頭,所述卡座與卡頭連接,所述卡頭包括三部分:帶有坡度的上端頭,具有圓弧形卡槽的中間部,帶有下滑坡度的下端部。本實用新型提供的固定晶圓的卡具,一方面提高晶圓在操作過程中的受力穩定性,另一方面增大了表面摩擦力;且卡具采用PFA碳纖維材質,設計為具有合理坡度的外沿,防止清洗過程中液體飛濺帶來的清洗不徹底等問題;能夠一次性固定兩片晶圓,能夠提高晶圓清洗效率或滿足生產中的特殊技術需要,使得晶圓在操作過程中能夠達到受力均衡,高摩擦力,高效清洗的有益效果。
本實用新型一種固定晶圓的卡具在權利要求書中公布了:1.一種固定晶圓的卡具,其特征在于,包括:卡座和卡頭,所述卡座與卡頭連接,所述卡頭包括三部分:帶有坡度的上端頭,具有圓弧形卡槽的中間部,帶有下滑坡度的下端部。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人上海裕詩實業有限公司,其通訊地址為:201620 上海市松江區新松江路1800弄3號6層601室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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