矽電半導體設備(深圳)股份有限公司林生財獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉矽電半導體設備(深圳)股份有限公司申請的專利載片裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223693114U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202520241229.8，技術領域涉及：H01L21/687；該實用新型載片裝置是由林生財設計研發完成，并于2025-02-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本載片裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種載片裝置，載片裝置用于承載芯片。載片裝置包括基體、活動組件、檢測組件、清潔組件以及導氣組件?；w具有用于承載芯片的承載部。活動組件活動連接基體，活動組件配置為能夠朝向承載部運動。檢測組件連接活動組件，檢測組件適于檢測承載部的清潔度。清潔組件連接活動組件，清潔組件包括清潔部，清潔部適于抵接承載部，以清理承載部上的附著物。導氣組件連接活動組件，導氣組件包括導氣部，導氣部適于產生可流通至承載部的氣流，以帶離承載部上的附著物。本方案能夠有效提升清潔效率，保障清潔效果。
本實用新型載片裝置在權利要求書中公布了：1.載片裝置，用于承載芯片，其特征在于，所述載片裝置包括： 基體，具有用于承載所述芯片的承載部； 活動組件，活動連接所述基體，所述活動組件配置為能夠朝向所述承載部運動； 檢測組件，連接所述活動組件，所述檢測組件適于檢測所述承載部的清潔度； 清潔組件，連接所述活動組件，所述清潔組件包括清潔部，所述清潔部適于抵接所述承載部，以清理所述承載部上的附著物； 導氣組件，連接所述活動組件，所述導氣組件包括導氣部，所述導氣部適于產生可流通至所述承載部的氣流，以帶離所述承載部上的所述附著物。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人矽電半導體設備(深圳)股份有限公司，其通訊地址為：518172 廣東省深圳市龍崗區龍城街道黃閣坑社區龍城工業園3號廠房三樓東區、五樓中西區；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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