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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司申請的專利一種等離子體反應(yīng)腔體的點火啟輝裝置及阻抗匹配器獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN223694046U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-19發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202423026797.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05H1/46；該實用新型一種等離子體反應(yīng)腔體的點火啟輝裝置及阻抗匹配器是由林偉群;郭啟亮;章兵設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-12-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種等離子體反應(yīng)腔體的點火啟輝裝置及阻抗匹配器在說明書摘要公布了：本實用新型屬于阻抗匹配器技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種等離子體反應(yīng)腔體的高壓點火啟輝裝置及阻抗匹配器，點火啟輝裝置應(yīng)用于等離子體反應(yīng)腔體，包括控制模塊、驅(qū)動模塊、點火模塊和匹配模塊，控制模塊用于控制點火模塊，點火模塊啟動時通過射頻電源為等離子體反應(yīng)腔體提供點火電壓，無需額外的電源輸入，同時控制模塊控制驅(qū)動模塊驅(qū)動匹配模塊為等離子體腔體提供阻抗匹配信號，從而本實用新型提供的點火啟輝裝置能夠?qū)崿F(xiàn)等離子體反應(yīng)腔體的快速啟輝，并在點火啟輝后提供阻抗匹配信號。

本實用新型一種等離子體反應(yīng)腔體的點火啟輝裝置及阻抗匹配器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種點火啟輝裝置，應(yīng)用于等離子體反應(yīng)腔體，其特征在于，包括控制模塊、驅(qū)動模塊、點火模塊和匹配模塊； 所述控制模塊的第一控制端連接所述驅(qū)動模塊的輸入端，用于將控制信號發(fā)送至所述驅(qū)動模塊； 所述控制模塊的第二控制端連接所述點火模塊的信號輸入端，用于將點火信號發(fā)送至所述點火模塊； 所述驅(qū)動模塊的控制端與所述匹配模塊的受控端連接，用于根據(jù)所述控制信號以控制所述匹配模塊； 所述點火模塊用于向等離子體反應(yīng)腔體提供點火電壓，所述點火模塊的輸出端與所述匹配模塊的輸出端連接；所述點火模塊的電力輸入端連接射頻電源； 所述匹配模塊的輸入端和輸出端分別連接射頻電源和等離子體反應(yīng)腔體，用于接收射頻電源的電力信號并傳輸至等離子體反應(yīng)腔體。

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