深圳市恒運昌真空技術股份有限公司林偉群獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市恒運昌真空技術股份有限公司申請的專利一種等離子體反應腔體的高壓點火啟輝裝置及阻抗匹配器獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223694047U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-19發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202423027145.9，技術領域涉及：H05H1/46；該實用新型一種等離子體反應腔體的高壓點火啟輝裝置及阻抗匹配器是由林偉群;郭啟亮;章兵設計研發完成，并于2024-12-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種等離子體反應腔體的高壓點火啟輝裝置及阻抗匹配器在說明書摘要公布了：本實用新型屬于阻抗匹配器技術領域，具體涉及一種等離子體反應腔體的高壓點火啟輝裝置及阻抗匹配器。點火啟輝裝置應用于等離子體反應腔體，包括控制模塊、驅動模塊、點火模塊和匹配模塊，控制模塊用于控制點火模塊，點火模塊啟動時通過工頻電源為等離子體反應腔體提供點火電壓，同時控制模塊控制驅動模塊驅動匹配模塊為等離子體腔體提供阻抗匹配信號，從而本實用新型提供的點火啟輝裝置能夠實現體離子體反應腔體的快速啟輝，并在點火啟輝后提供阻抗匹配信號。
本實用新型一種等離子體反應腔體的高壓點火啟輝裝置及阻抗匹配器在權利要求書中公布了：1.一種點火啟輝裝置，應用于等離子體反應腔體，其特征在于，包括控制模塊、驅動模塊、點火模塊和匹配模塊； 所述控制模塊的第一控制端連接所述驅動模塊的輸入端，用于將控制信號發送至所述驅動模塊； 所述控制模塊的第二控制端連接所述點火模塊的信號輸入端，用于將點火信號發送至所述點火模塊； 所述驅動模塊的控制端與所述匹配模塊的受控端連接，用于根據所述控制信號以控制所述匹配模塊； 所述點火模塊用于向等離子體反應腔體提供點火電壓，所述點火模塊的輸出端與所述匹配模塊的輸出端連接；所述點火模塊的電力輸入端連接工頻電源的電力輸出端； 所述匹配模塊的輸入端和輸出端分別連接射頻電源和等離子體反應腔體，用于接收射頻電源的電力信號并傳輸至等離子體反應腔體。
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