東泰高科裝備科技有限公司鄒金成獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!
龍圖騰網獲悉東泰高科裝備科技有限公司申請的專利晶片托盤定位機構和濕法欄具提升固定裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN111261566B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201811458751.2,技術領域涉及:H01L21/68;該發明授權晶片托盤定位機構和濕法欄具提升固定裝置是由鄒金成;王敬苗;申兵兵;唐海峰;何金正設計研發完成,并于2018-11-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶片托盤定位機構和濕法欄具提升固定裝置在說明書摘要公布了:本發明提供了一種晶片托盤定位機構和濕法欄具提升固定裝置,其中,晶片托盤定位機構,包括固定座、安裝座、第一驅動部、托起組件和下壓組件;第一驅動部安裝在固定座上并與安裝座相連,第一驅動部用于驅動安裝座沿第一方向移動;下壓組件和托起組件分別設置在安裝座上;托起組件包括托起部,托起部用于托起完成晶片取出的晶片托盤,下壓組件包括下壓部,下壓部用于下壓待完成晶片取出的晶片托盤,托起部和下壓部之間的距離可沿第二方向調整,第一方向與第二方向相互垂直。本發明的技術方案有效地解決了現有技術中的濕法欄具提升固定裝置內的晶片托盤變形而影響生產效率的問題。
本發明授權晶片托盤定位機構和濕法欄具提升固定裝置在權利要求書中公布了:1.一種晶片托盤定位機構,其特征在于,包括固定座10、安裝座20、第一驅動部30、托起組件40和下壓組件50;所述第一驅動部30安裝在所述固定座10上并與所述安裝座20相連,所述第一驅動部30用于驅動所述安裝座20沿第一方向移動;所述下壓組件50和所述托起組件40分別設置在所述安裝座20上;所述托起組件40包括托起部,所述托起部用于托起完成晶片取出的晶片托盤100,所述下壓組件50包括下壓部,所述下壓部用于下壓待完成晶片取出的晶片托盤100,所述托起部和所述下壓部之間的距離可沿第二方向調整,所述第一方向與所述第二方向相互垂直; 所述下壓組件50還包括第二驅動部60,所述第二驅動部60固定在所述安裝座20上,所述下壓部安裝在所述第二驅動部60上,所述第二驅動部60驅動所述下壓部沿所述第二方向移動; 所述第二驅動部60包括氣缸和活塞桿,所述下壓部包括壓板,所述壓板設置在所述活塞桿的自由端; 所述壓板包括相互平行的第一平面和第二平面,所述第一平面與活塞桿的自由端相連接,所述第一平面和第二平面之間還包括第三平面,所述第三平面與第二平面過渡連接,所述第三平面在所述第二驅動部60的作用下抵壓晶片托盤100; 所述固定座10和所述安裝座20之間設置有滑軌組件,所述安裝座20通過所述滑軌組件沿所述第一方向移動。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人東泰高科裝備科技有限公司,其通訊地址為:102209 北京市昌平區科技園區中興路10號A129-1室;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由龍圖騰AI智能生成。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。

皖公網安備 34010402703815號
請提出您的寶貴建議,有機會獲取IP積分或其他獎勵