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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會(huì)社荏原制作所申請(qǐng)的專利基板清洗裝置、基板處理裝置及基板清洗方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112289703B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010701619.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)基板清洗裝置、基板處理裝置及基板清洗方法是由中野央二郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-07-20向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板清洗裝置、基板處理裝置及基板清洗方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及基板清洗裝置、基板處理裝置及基板清洗方法。基板清洗裝置具備：保持基板的基板保持機(jī)構(gòu)；使保持于基板保持機(jī)構(gòu)的基板旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；及清洗基板的清洗機(jī)構(gòu)。清洗機(jī)構(gòu)具備：支柱；從支柱伸出且其高度位置不變動(dòng)的支臂；支撐于支臂且通過(guò)抵接于基板表面來(lái)清洗表面的清洗件；使清洗件在從基板離開的上升位置與抵接于基板的下降位置之間相對(duì)于支臂升降的升降機(jī)構(gòu)；及至少控制清洗件下降時(shí)的速度的控制部。

本發(fā)明授權(quán)基板清洗裝置、基板處理裝置及基板清洗方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板清洗裝置，其特征在于，具備： 基板保持機(jī)構(gòu)，該基板保持機(jī)構(gòu)保持基板； 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使保持于所述基板保持機(jī)構(gòu)的所述基板旋轉(zhuǎn)；及 清洗機(jī)構(gòu)，該清洗機(jī)構(gòu)清洗所述基板， 所述清洗機(jī)構(gòu)具備： 支柱； 支臂，該支臂從所述支柱伸出，且該支臂的高度位置不變動(dòng)； 清洗件，該清洗件支撐于所述支臂，且通過(guò)抵接于所述基板表面來(lái)清洗所述表面； 升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)使所述清洗件在從所述基板離開的上升位置與抵接于所述基板的下降位置之間相對(duì)于所述支臂升降；及 控制部，該控制部至少控制所述清洗件下降時(shí)的速度， 所述控制部多個(gè)階段地降低所述清洗件從所述上升位置下降至所述下降位置時(shí)的速度，在該多個(gè)階段中的所述清洗件到達(dá)所述下降位置的最后階段與該最后階段的前一個(gè)階段之間設(shè)置時(shí)間間隔。

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