三星電子株式會社金璱祺獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉三星電子株式會社申請的專利用于檢查和制造光罩的方法以及制造半導(dǎo)體器件的方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112305852B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010632541.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F1/24；該發(fā)明授權(quán)用于檢查和制造光罩的方法以及制造半導(dǎo)體器件的方法是由金璱祺;宋弦昔;姜仁勇;李剛源;李周衡;張恩植設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-07-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本用于檢查和制造光罩的方法以及制造半導(dǎo)體器件的方法在說明書摘要公布了：本公開提供了用于檢查和制造光罩的方法以及制造半導(dǎo)體器件的方法。在一個方面中，提供一種用于檢查光罩的方法，該光罩包括光罩基板和在光罩基板上的反射層。該方法可以包括：將光罩裝載于平臺上；將光罩基板冷卻至低于室溫的溫度；將激光束照射到在光罩基板上的反射層；使用光電檢測器接收從反射層反射的激光束以獲得反射層的圖像；以及基于反射層的圖像，檢測在反射層上的顆粒缺陷或在反射層中的空隙缺陷。
本發(fā)明授權(quán)用于檢查和制造光罩的方法以及制造半導(dǎo)體器件的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于檢查光罩的方法，所述方法包括： 將所述光罩裝載于平臺上，所述光罩包括光罩基板和在所述光罩基板上的反射層； 將所述光罩基板冷卻至低于室溫的溫度； 將激光束照射到在所述光罩基板上的所述反射層； 使用光電檢測器接收從所述反射層反射的所述激光束以獲得所述反射層的圖像；以及 基于所述反射層的所述圖像，檢測在所述反射層上是否存在顆粒缺陷和或在所述反射層中是否存在空隙缺陷， 其中所述光罩基板被冷卻至低于145開爾文，以減小所述反射層的熱容并增大所述激光束的功率。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人三星電子株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
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