買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網獲悉天津大學申請的專利基于原子力顯微鏡與機械切削的層析檢測裝置與方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112505360B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-12-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011321321.3，技術領域涉及：G01Q60/24；該發明授權基于原子力顯微鏡與機械切削的層析檢測裝置與方法是由吳森;陳庚亮設計研發完成，并于2020-11-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于原子力顯微鏡與機械切削的層析檢測裝置與方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種基于原子力顯微鏡與機械切削的層析檢測裝置與方法，其中的層析檢測裝置，包括用于在內部形成真空環境的設備外殼、原子力顯微鏡、機械切削裝置、控制裝置，以及樣品承載裝置；所述樣品承載裝置、所述機械切削裝置與所述原子力顯微鏡均設于所述真空環境；所述原子力顯微鏡包括探針，以及用于驅動所述探針運動的探針驅動結構；所述機械切削裝置包括切削刀，以及用于驅動所述切削刀運動的切削刀驅動結構；所述控制裝置分別通過信號對所述探針驅動結構與所述切削刀驅動結構進行控制，進一步的，可通過探針物性測量和原位切削的交替使用形成三維物性層析成像。

本發明授權基于原子力顯微鏡與機械切削的層析檢測裝置與方法在權利要求書中公布了：1.一種基于原子力顯微鏡與機械切削的層析檢測裝置，其特征在于，包括用于在內部形成真空環境的設備外殼、原子力顯微鏡、機械切削裝置、控制裝置，以及樣品承載裝置；所述樣品承載裝置、所述機械切削裝置與所述原子力顯微鏡均設于所述真空環境； 所述原子力顯微鏡包括探針，以及用于驅動所述探針運動的探針驅動結構；所述機械切削裝置包括切削刀，以及用于驅動所述切削刀運動的切削刀驅動結構；所述控制裝置分別通過信號對所述探針驅動結構與所述切削刀驅動結構進行控制； 所述控制裝置用于： 通過所述切削刀驅動結構，控制所述切削刀到達切削預備位置； 通過所述切削刀驅動結構和或所述樣品承載裝置，控制所述切削刀切削所述樣品承載裝置上的樣品表面，以形成當前待測表面； 通過所述探針驅動結構，控制所述探針與所述當前待測表面處于相互作用位置，并通過所述探針驅動結構和或所述樣品承載裝置，控制所述探針相對于所述樣品做掃描運動，利用所述探針對所述當前待測表面進行物性測量；其中，所述掃描運動多個測量點的物理信號變化將構成當前待測表面的物性圖； 重復以上過程，以利用機械切削再次切削試樣表面并形成新的當前測量表面，重復探針表面物性測量和掃描，通過所述探針物性測量和原位切削的交替使用形成三維物性層析成像； 其中，所述樣品在原位實現切削與探針檢測； 所述層析檢測裝置還包括光學裝置，所述光學裝置安裝于所述設備外殼，所述光學裝置朝向于所述樣品承載裝置所屬區域，且所述樣品處于所述樣品承載裝置與所述光學裝置之間；所述樣品承載裝置的位置匹配于所述光學裝置的焦平面，以使得處于所述樣品承載裝置的所述樣品能夠處于所述焦平面； 所述光學裝置用于： 采集其覆蓋范圍內的實時圖像，并將所述實時圖像發送至所述控制裝置； 所述控制裝置還用于： 在所述探針相對于所述樣品做所述掃描運動時，根據所述實時圖像，確定不同時間所述探針針尖相對于所述樣品的探針位置信息； 所述控制裝置在利用所述探針對所述當前待測表面進行物性測量時，具體用于： 根據不同時間的所述探針位置信息與所述物理信號，確定所述當前待測表面的物性圖； 所述光學裝置還用于導入第一輔助光，并將所述第一輔助光引導至所述當前待測表面，以在所述當前待測表面形成第一光斑；所述第一輔助光為能夠形成拉曼光的輔助光； 所述第一輔助光被配置為能夠使得： 所述當前圖像中，所述探針的針尖區段所表現出的光譜信息區別于所述第一光斑所覆蓋的區域范圍內其他區域的光譜信息，所述針尖區段的尺寸范圍小于20nm； 所述光學裝置還用于導入第二輔助光，并將所述第二輔助光引導至所述當前待測表面，以在所述當前待測表面形成第二光斑； 所述第二輔助光被配置為能夠使得： 所述當前待測表面中，所述第二光斑的所覆蓋的區域范圍內發生變形； 所述第二輔助光為紅外光，通過紅外光的照射，所述第二光斑的覆蓋區域內的溫度會發生變化，對應的，該區域可能會發生變形，所述探針掃描至該區域時，對應的物理信號可表征出該種變形。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人天津大學，其通訊地址為：300072 天津市南開區衛津路92號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

以上內容由龍圖騰AI智能生成。