株式會社迪思科小島芳昌獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社迪思科申請的專利加工裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN112908891B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202011389635.7,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/67;該發(fā)明授權(quán)加工裝置是由小島芳昌設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-12-02向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本加工裝置在說明書摘要公布了:提供加工裝置,作業(yè)者能夠確認(rèn)形成于被加工物的背面?zhèn)鹊牟凼欠裱刂O(shè)定于被加工物的正面?zhèn)鹊姆指铑A(yù)定線形成。加工裝置具有:保持工作臺,其具有由透明材料從一個面形成到另一個面的規(guī)定的區(qū)域;加工單元,其對被加工物進(jìn)行加工;第1拍攝單元,其設(shè)置于保持工作臺的上方;第2拍攝單元,其設(shè)置于保持工作臺的下方;顯示單元;以及控制部,其包含存儲部,該存儲部存儲通過利用第2拍攝單元對正面?zhèn)缺槐3止ぷ髋_的一個面保持的被加工物進(jìn)行拍攝而取得的正面?zhèn)鹊膱D像所包含的規(guī)定的圖案的位置信息,該控制部使在被加工物的厚度方向上與被加工物的背面?zhèn)鹊牡?區(qū)域?qū)?yīng)的正面?zhèn)鹊牡?區(qū)域所包含的規(guī)定的圖案與第1區(qū)域的圖像重疊而顯示在顯示單元上。
本發(fā)明授權(quán)加工裝置在權(quán)利要求書中公布了:1.一種加工裝置,其特征在于, 該加工裝置具有: 板狀的保持工作臺,其包含一個面和位于與該一個面相反的一側(cè)的另一個面,并且該保持工作臺具有由透明材料從該一個面形成到該另一個面的規(guī)定的區(qū)域; 加工單元,其在正面?zhèn)染哂幸?guī)定的圖案的被加工物的該正面?zhèn)缺辉摫3止ぷ髋_的該一個面保持并且該被加工物的背面?zhèn)认蛏戏铰冻龅臓顟B(tài)下對該被加工物進(jìn)行加工; 第1拍攝單元,其在該保持工作臺的上方以與該一個面對置的方式設(shè)置; 第2拍攝單元,其在該保持工作臺的下方以與該另一個面對置的方式設(shè)置; 顯示單元,其顯示由該第1拍攝單元和該第2拍攝單元中的至少任意一個拍攝單元取得的圖像;以及 控制部,其包含存儲部,該存儲部存儲通過利用該第2拍攝單元對該正面?zhèn)缺辉摫3止ぷ髋_的該一個面保持的該被加工物進(jìn)行拍攝而取得的該正面?zhèn)鹊膱D像所包含的該規(guī)定的圖案的位置信息,該控制部使在該被加工物的厚度方向上與該被加工物的該背面?zhèn)鹊牡?區(qū)域?qū)?yīng)的該正面?zhèn)鹊牡?區(qū)域所包含的該正面?zhèn)鹊脑撘?guī)定的圖案與該第1拍攝單元所拍攝到的該背面?zhèn)鹊脑摰?區(qū)域的圖像重疊而顯示在該顯示單元上。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人株式會社迪思科,其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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