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龍圖騰網(wǎng)獲悉南方科技大學(xué)申請(qǐng)的專利蘭姆波諧振器及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113904652B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-12-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111066444.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H03H9/17；該發(fā)明授權(quán)蘭姆波諧振器及其制備方法是由張一;汪青;于洪宇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-13向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本蘭姆波諧振器及其制備方法在說(shuō)明書摘要公布了：本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N蘭姆波諧振器及其制備方法，涉及聲波諧振器技術(shù)領(lǐng)域。該蘭姆波諧振器包括支撐襯底、支撐結(jié)構(gòu)、壓電薄膜和頂部電極。支撐襯底和壓電薄膜間隔設(shè)置，支撐結(jié)構(gòu)的一端設(shè)置于支撐襯底的表面，支撐結(jié)構(gòu)的另一端設(shè)置于壓電薄膜的第一表面，頂部電極設(shè)置于壓電薄膜的背離支撐襯底的第二表面，頂部電極和支撐結(jié)構(gòu)在壓電薄膜的厚度方向上至少有部分重疊。該蘭姆波諧振器，可以提高壓電薄膜的機(jī)械穩(wěn)定性，并且提高諧振器的散熱特性及功率特性；由于蘭姆波諧振器的主模態(tài)能量主要集中在電極之間部分，聲波傳遞到電極區(qū)域多次反射將產(chǎn)生雜散模態(tài)，提供支撐結(jié)構(gòu)有利于雜散聲波能量泄露到支撐襯底，從而改善其雜散模態(tài)多的問(wèn)題。

本發(fā)明授權(quán)蘭姆波諧振器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種蘭姆波諧振器，其特征在于，包括： 支撐襯底、支撐結(jié)構(gòu)、壓電薄膜和頂部電極；所述支撐襯底和所述壓電薄膜間隔設(shè)置，所述支撐結(jié)構(gòu)的一端設(shè)置于所述支撐襯底的表面，所述支撐結(jié)構(gòu)的另一端設(shè)置于所述壓電薄膜的第一表面，所述頂部電極設(shè)置于所述壓電薄膜的背離所述支撐襯底的第二表面，所述頂部電極在所述壓電薄膜上的投影和所述支撐結(jié)構(gòu)在所述壓電薄膜上的投影至少有部分重疊； 所述支撐結(jié)構(gòu)包括多個(gè)支撐體，所述多個(gè)支撐體的一端間隔設(shè)置于所述支撐襯底的表面，所述多個(gè)支撐體的另一端間隔設(shè)置于所述壓電薄膜的第一表面，所述支撐結(jié)構(gòu)的材料為SiO2、SiC、SiN或金剛石；所述頂部電極包括多個(gè)子電極，所述多個(gè)子電極間隔設(shè)置于所述壓電薄膜的所述第二表面；一個(gè)所述子電極與一個(gè)所述支撐體一一對(duì)應(yīng)，且所述支撐體在所述壓電薄膜上的投影和所述子電極在所述壓電薄膜上的投影至少有部分重疊。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人南方科技大學(xué)，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1088號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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