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          電子科技大學杜江鋒老師一件發明專利完成成果轉化

          發表時間:2025年01月14日 來源:龍圖騰

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          龍圖騰網獲悉電子科技大學申請的專利一種具有局部背勢壘的氮化鎵基功率異質結場效應晶體管成功實施成果轉化。

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2015-03-11發布的專利公告中獲悉:該專利的專利申請號/專利號為:2014106797953,技術領域屬于H01L29/778(2006.01)I;該專利一種具有局部背勢壘的氮化鎵基功率異質結場效應晶體管是由電子科技大學設計研發完成,并于2014-11-24向國家知識產權局提交的專利申請。

          本發明公開了一種具有局部背勢壘的氮化鎵基功率異質結場效應晶體管,其結構從下至上依次主要由襯底、氮化鋁成核緩沖層、鋁銦鎵氮局部背勢壘層、氮化鎵溝道層以及鋁銦鎵氮勢壘層組成,在勢壘層上形成有源極、漏極和柵極,源極及漏極與勢壘層形成歐姆接觸,柵極與勢壘層形成肖特基接觸。本發明通過引入極化強度大于氮化鎵溝道層的鋁銦鎵氮局部背勢壘層,使鋁銦鎵氮背勢壘層和氮化鎵溝道層界面電荷平衡后剩余負的極化電荷,起到耗盡部分柵漏漂移區溝道的2DEG的效果,構成LDD(low?density?drain)結構,從而實現調制溝道的電場分布以提升器件耐壓能力。

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