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          攝影電影;光學設備的制造及其處理,應用技術
          • 本實用新型提出一種具有音圈驅動結構的光刻機掩膜版微動平臺,其包括固定支撐基板、轉接支托座塊、限位保持撐板、滾動支墊球珠、樞轉限位螺栓、活動配接墊塊、活動裝配載板及音圈驅動組件,該微動平臺的驅動結構采用音圈電機制作,不僅使得微動平臺的響應速度...
          • 本實用新型涉及一種堆料設備,特別涉及一種碼垛裝置,解決了碼垛設計問題。包括若干連接桿組成的框架體,所述框架體底部還設有底桿和料板,所述料板掛靠在底桿上固定,所述框架體上又設有承架桿以及驅動承架桿上下移動的提升機構,所述承架桿上又設有限位滑動...
          • 本發明屬于光刻膠技術領域,具體涉及一種顯影去膠可堿溶的光刻膠的制備方法。本發明旨在解決現有的光刻膠無法在顯影和去膠兩段工藝中實現完全堿溶的問題。本發明通過微乳液聚合將羧基填料前體制備成羧酸基填料,采用偶聯劑改性酚基填料前體獲得酚基填料,兩者...
          • 本申請公開了一種鏡片組件及光學引擎,屬于投影顯示技術領域。鏡片組件包括:支架、光學鏡片、轉動部和固定部。支架通過轉動部與殼體連接后,能夠繞第一軸線或第二軸線獨立轉動,并且在完成角度調整后,固定部可以直接與殼體固定連接,從而使得安裝在支架上的...
          • 本發明公開了一種自適應節能重力發電裝置,涉及重力發電相關技術領域,該自適應節能重力發電裝置,包括底座及轉動安裝于底座上的主軸,主軸兩端均同軸固定有支撐盤;兩個支撐盤之間等距固定有至少六個隔板,相鄰兩個隔板之間滑動安裝有配重塊;一號安裝前,開...
          • 本實用新型涉及勢能裝置的技術領域,尤其涉及一種彈性勢能應用系統,包括儲能單元、釋能單元;儲能單元包括第一儲能棒、儲能支架、儲能齒條機構、能量輸入裝置;第一儲能棒放置在儲能支架中,第一儲能棒一端與儲能齒條機構觸接,儲能齒條機構連接能量輸入裝置...
          • 一種基于薄模板的納米壓印方法。所述納米壓印方法采用總厚度為0.3~2.0毫米的納米壓印模板,包括:將納米壓印模板裝配到納米壓印設備上;通過電致動器使納米壓印模板中心凸起;下壓納米壓印模板到預設位置,使其與壓印膠貼合;通過紫外光源使壓印膠固化...
          • 本發明屬于半導體光刻技術相關技術領域,其公開了一種振幅型全息掩模的優化生成方法及設備與應用,步驟為:(1)基于待生成的目標圖案、優化系統的初始待優化參數分布及優化系統的成像方法確定系統損失函數,并通過梯度下降法或共軛梯度法對系統損失函數進行...
          • 本申請公開了光源及掩模的協同優化方法、設備、介質及產品,涉及光刻仿真技術領域。該方法包括:確定出便于處理的像素化光源,并在像素化光源中篩選出光強值為第一光強值的像素點,篩選第一光強值的像素點是為了后續在進行成像計算時,僅計算第一光強值的像素...
          • 本申請實施例提供一種用于傳感探測領域的可編程增益儀表放大器。應用于集成電路技術領域,包括:低通濾波模塊、斬波放大模塊、第一可編程增益網絡、第二可編程增益網絡和緩沖放大模塊;低通濾波模塊用于接收輸入的差分信號,并對差分信號進行濾波,輸出濾波信...
          • 一種具有導流槽的納米壓印模板、其制作方法及應用,屬于納米壓印技術領域。所述納米壓印模板包括一襯底,以及形成在所述襯底下表面上的凸臺;所述凸臺上設置有具有待轉印凹凸結構的微納米結構;其中,所述凸臺的四個角上設置有用于將壓印膠中的氣泡排出的導流...
          • 本實用新型公開了一種適應性強的鏡頭防護蓋,包括防護蓋,防護蓋內設置有第一連接板和第二連接板,第二連接板滑動連接在防護蓋的內壁上,并且第二連接板外圍安裝有若干個L型連接件,若干個L型連接件上均轉動連接有連桿,若干個連桿的另一端均轉動連接有L型...
          • 本申請實施例提供了一種剛性工件曝光設備,用于提高激光直寫成像設備的精度。剛性工件曝光設備包括:底座、掃描運動載臺、滾軸驅動系統、按壓系統以及光源模組;底座上設有導軌,掃描運動載臺沿導軌往復移動時,掃描運動載臺上的光源模組中的光源對剛性工件上...
          • 本發明屬于材料技術領域,具體涉及一種感光樹脂組合物及其應用。感光樹脂組合物包含以下各組分:堿溶性樹脂、樹脂單體、固化引發劑、溶劑、助劑。本發明的感光樹脂組合物具有優異的光學性能、固化速率及成膜性能,在實際應用中與基板的附著能力好,能夠在較低...
          • 本發明公開一種厚光刻膠的涂布方法,包括以下步驟:1)對待涂膠的晶圓進行預處理;2)采用分步滴膠和分步控制轉速的方法令光刻膠成膜;3)對涂膠后的晶圓進行去邊、清洗和干燥處理;4)對所述晶圓進行曝光和顯影;5)對所述晶圓進行后烘處理;6)對所述...
          • 本實用新型涉及半導體生產設備技術領域,尤其涉及一種在線式光罩盒光罩固定結構,包括盒體、光罩本體、門體、拉桿、兩個固定框、固定部件和輔助部件,門體與盒體轉動連接,并位于盒體的一側,拉桿與門體固定連接,并位于門體的外側,兩個固定框分別與光罩本體...
          • 本發明公開了一種用于接近式光刻機的套刻穩定性控制方法,方法在接近式光刻基于圖像處理的對準技術基礎上,使用預訓練的方法提取特征形成標準化的對準模板圖像,基于多次工藝實驗,構建對準特征模板的支持集,進行訓練與迭代優化,以建立對準模板模型庫,通過...
          • 本實用新型公開了一種成像設備,包括掃描平臺、成像探測機構、主動光源機構和激光準直機構,成像探測機構和主動光源機構分別設置在掃描平臺的兩側并以掃描平臺的豎向中心軸為旋轉中心,將成像探測機構和主動光源機構運動載荷的質心設置在掃描平臺的豎向中心軸...
          • 本發明涉及水力發電相關技術領域,公開了一種高效水輪發電裝置,包括:水輪機模塊,增壓沖擊模塊:包括增壓水泵和射流噴嘴,經增壓水泵增壓后的水流由射流噴嘴噴出,射流噴嘴噴出的水流用于沖擊葉片組件;輔助加速單元:包括若干移動體,若干移動體均勻布置在...
          • 本實用新型提供了一種機頂閃光燈及拍攝系統,機頂閃光燈包括本體和熱靴座,本體上設有第一磁吸件、第一導電觸點、無線傳輸模塊及用于發出閃光光線的閃光部,無線傳輸模塊可接收來自外部的控制信號,相機的控制信號可通過無線傳輸模塊傳遞至閃光部;熱靴座上設...
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