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          攝影電影;光學(xué)設(shè)備的制造及其處理,應(yīng)用技術(shù)
          • 本申請公開一種版圖形成方法和掩膜版組、半導(dǎo)體器件的制備方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。圖形成方法包括:提供第一掩膜版,第一掩膜版具有初始版圖圖形及添加至初始版圖圖形旁側(cè)的可曝光輔助圖形;基于第一掩膜版進(jìn)行一次曝光,于待蝕刻層中形成初始版圖;提供第...
          • 本發(fā)明公開了一種調(diào)焦調(diào)平裝置與方法,裝置包括:位移臺,用于承載待測目標(biāo)物;光學(xué)成像系統(tǒng),位于待測目標(biāo)物遠(yuǎn)離位移臺的一側(cè);垂向位移傳感器,用于測量待測目標(biāo)物的面型;驅(qū)動機(jī)構(gòu),使位移臺隨橫向軸和/或縱向軸移動;垂向軸以使光學(xué)成像系統(tǒng)隨垂向軸移動...
          • 本發(fā)明提供一種正性光刻膠組合物,以重量份計,所述正性光刻膠組合物包括100份樹脂、0.5~10份重氮萘醌化合物、1~10份光致產(chǎn)酸劑和0.01~0.5份氮唑類化合物;所述氮唑類化合物具有式I或式II所示結(jié)構(gòu)。所述采用特定結(jié)構(gòu)的氮唑類化合物與...
          • 本發(fā)明涉及材料領(lǐng)域,公開了一種用于MicroLED色轉(zhuǎn)換層的高分辨量子點光刻膠及其制備方法,量子點光刻膠的制備原料包括功能性組分及可選地溶劑,基于制備原料的總量,功能性成分的量為20?100wt.%,功能性組分包括量子點、多官能團(tuán)單體、單官...
          • 本發(fā)明涉及光刻膠技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于高分辨率顯示面板的彩色光刻膠噴涂顯影工藝,包括以下步驟:S1.制備復(fù)合彩色光刻膠;S2.基板預(yù)處理;S3.噴涂工藝;S4.預(yù)烘烤;S5.曝光;S6.顯影;S7.后烘烤;本發(fā)明通過優(yōu)化彩色光刻膠的組分...
          • 本實用公開了一種用于相機(jī)的木制模擬光圈結(jié)構(gòu),包括鏡頭、相機(jī)本體,鏡頭與相機(jī)本體連接,還包括:第一層木質(zhì)結(jié)構(gòu)、第二層木質(zhì)結(jié)構(gòu)、第三層結(jié)構(gòu);第一層木質(zhì)結(jié)構(gòu)和第二層木質(zhì)結(jié)構(gòu)的外輪廓為波浪形和凹陷交替的形狀,與手指抓握姿勢相適配;第一層木質(zhì)結(jié)構(gòu)和第...
          • 本發(fā)明提供一種在形成圖案時能夠以充分的水平發(fā)揮感度或LWR性能、圖案矩形性、CDU性能、圖案圓形性、MEEF、曝光寬容度的感放射線性組合物及圖案形成方法。一種感放射線性組合物,包含下述式(1)所表示的第一鎓鹽化合物、下述式(2)所表示的第二...
          • 本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種掩模圖形優(yōu)化方法及掩模板。所述方法提供初始掩模版圖,將初始掩模版圖劃分為預(yù)設(shè)等級的分塊,相鄰分塊間界定原始邊界線,原始邊界線擴(kuò)展形成擴(kuò)展邊界線;將分塊內(nèi)掩模圖形進(jìn)行打斷獲得線段;在線段上放置初始評價點,模...
          • 本發(fā)明公開了一種光學(xué)平臺、攝像模組及電子設(shè)備,涉及影像設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,其中,光學(xué)平臺包括:基座,具有第一抵接部;上蓋,與基座固定連接,上蓋與基座之間具有容納空間;移動座,滑動設(shè)置在容納空間內(nèi),移動座與上蓋之間具有間隙,移動座具有第二抵接部,移...
          • 本申請適用于顯示技術(shù)領(lǐng)域,具體提供了一種光刻膠、顯示基板及顯示面板,該光刻膠中含有至少一種如下式(Ⅰ)所示的顏料分散劑:(Ⅰ),其中,A包括亞烷基或亞烯基;Z包括羧基,羥基,巰基,取代的烷基,及取代或未取代的烷氧基、烯基、烯氧基、酯基、酰基...
          • 本申請公開了一種復(fù)印設(shè)備的磁輥結(jié)構(gòu),屬于磁輥結(jié)構(gòu)領(lǐng)域,包括固定塊,所述固定塊上設(shè)置有安裝裝置,所述安裝裝置包括有連接板,所述連接板固定連接在固定塊底部,所述固定塊底部設(shè)置有底座,所述連接板底部固定連接有豎桿,所述豎桿外壁固定連接有限位環(huán),所...
          • 本發(fā)明涉及一種光圈結(jié)構(gòu),具體是一種彈性消隙的可變光圈結(jié)構(gòu)及攝影設(shè)備,包括固定組件,固定組件安裝有轉(zhuǎn)盤和光圈葉片,光圈葉片通過導(dǎo)向結(jié)構(gòu)從動于轉(zhuǎn)盤與固定組件之間,固定組件安裝有彈性變形件,彈性變形件分別抵靠在固定組件和光圈葉片以限制光圈葉片的轉(zhuǎn)...
          • 本申請屬于光刻工藝領(lǐng)域,涉及一種光刻分辨率增強(qiáng)方法、裝置、計算機(jī)設(shè)備及存儲介質(zhì)。所述光刻分辨率增強(qiáng)方法包括:獲取系統(tǒng)參數(shù)信息;根據(jù)所述系統(tǒng)參數(shù)信息構(gòu)建正向光刻模型,并基于所述正向光刻模型以進(jìn)行目標(biāo)圖形為期望輸出進(jìn)行迭代求解,得到最優(yōu)波前相位...
          • 本實用新型公開了一種廢棄光刻膠排放裝置及涂膠顯影機(jī),包括漏斗和排液管,所述漏斗上布設(shè)有沿其軸向活動的升降板,所述升降板一端延伸至漏斗中部,升降板一端固定安裝有伸縮管,伸縮管底端固定連通有內(nèi)置空腔的壓板,壓板上開設(shè)有若干出液孔,伸縮管的自由端...
          • 本發(fā)明公開了一種叉車電控硬件冗余系統(tǒng),涉及叉車控制領(lǐng)域;包括:主控模塊,實時處理駕駛指令與傳感器數(shù)據(jù),生成執(zhí)行機(jī)構(gòu)控制信號,同時通過高速總線向備用模塊同步參數(shù);備用控制模塊,其通過動態(tài)熱同步方法在主系統(tǒng)失效時實現(xiàn)無感接管控制權(quán);多通道故障檢...
          • 本發(fā)明涉及印刷電路板制造技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種高耐化性感光干膜及其制備方法,按重量份計,至少包括以下原料:含苯環(huán)單體5?15份,丙烯酸酯類單體100?200份,功能性單體20?70份,溶劑200?300份,光引發(fā)劑0.5?2份,通過優(yōu)化產(chǎn)品體...
          • 一種獲取對于襯底形貌測量的校準(zhǔn)的方法,該方法包括:對于校準(zhǔn)襯底上的多個位置中的每個位置:在該位置處獲取校準(zhǔn)襯底高度參考值;以及在該位置處獲取多個校準(zhǔn)襯底高度測量值,每個校準(zhǔn)襯底高度測量值對應(yīng)于校準(zhǔn)襯底在該位置處的表面的測量,其中多個位置的總...
          • 本實用新型提出一種具有尺寸切換結(jié)構(gòu)的光刻機(jī)掩膜版夾緊定位機(jī)構(gòu),其包括支撐裝配組件、橫向定位組件、縱向定位組件、夾緊驅(qū)動組件、雙向定位組件及吸合定位組件,夾緊定位機(jī)構(gòu)的橫向定位組件和縱向定位組件可分別沿橫向和縱向孔眼調(diào)節(jié)安裝位置,夾緊驅(qū)動組件...
          • 本發(fā)明提供了一種獲取曝光中熱補(bǔ)償?shù)姆椒ā⒂糜谄毓獾臒嵫a(bǔ)償系統(tǒng),所述方法包括獲取前一批次晶圓和當(dāng)前批次晶圓的產(chǎn)品信息和曝光時的工藝信息;執(zhí)行第一判斷、第二判斷、第三判斷及第四判斷;若第一判斷、第二判斷、第三判斷及第四判斷中任一個的判斷結(jié)果為否...
          • 本發(fā)明公開了一種投影屏幕和投影系統(tǒng),包括:表面功能層、菲涅爾透鏡層和位于菲涅爾透鏡層的透鏡單元表面上的共振層,共振層采用單層薄膜,可以對投影設(shè)備出射的投影光線進(jìn)行選擇性反射,而對其它波段的光線反射率大幅降低,由此可以顯著提高投影圖像的對比度...
          技術(shù)分類
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