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								      公開了用于監測和控制微電子襯底的處理的系統和設備。設備的一個方面包括：具有密封門的一個或多個集群。每個密封門在前側上包括濕零件柜，每個濕零件柜被劃分成多個集群并占據一個或多個化學工作站，化學工作站執行分析應用。密封門在后側上包括電氣柜，其用...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明即使經過回流接合等高溫工藝等，也能在焊接部分中確保充分的界面強度。裝置具有：基體，該基體具有第一面；電極，該電極位于所述基體的所述第一面；以及接合部，該接合部位于所述電極上。所述接合部從所述電極側依次包括第一層、第二層以及第三層，所述...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明的課題提供一種密封樹脂以及其形成方法及形成裝置，所述密封樹脂可實現能夠防止產生成形不良的壓縮成形裝置及壓縮成形方法。作為解決手段，本發明的密封樹脂的形成方法是形成用于工件(W)的壓縮成形的密封樹脂(R)的形成方法，所述工件(W)具有在...
								
            
							
            
							
						
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								      公開激光退火方法及應用其的半導體器件制備方法。所公開的激光退火方法針對包括晶體管的半導體器件部執行，激光退火方法可包括如下步驟：準備設置有晶體管的半導體器件部，所述晶體管包括半導體及與所述半導體形成接合界面的電介質；以及為了至少鈍化(pas...
								
            
							
            
							
						
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								      半導體裝置的制造方法包括如下工序：在加熱條件下將切割晶粒接合一體型膜的膜B貼附于將半導體晶圓單片化而得的多個半導體芯片，所述切割晶粒接合一體型膜具備：切割膜(膜A)，其具有基材膜及設置于基材膜上的壓敏膠黏劑層、及晶粒接合膜(膜B)，其設置于...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供一種氮化物半導體基板的制造方法，所述氮化物半導體基板在硅基板上具備包含III族氮化物基底層與氮化鎵外延層的III族氮化物層，所述制造方法使用Si{110}基板，所述制造方法包含下述工序：預通氣工序，其向已加熱至1000℃以上的Si...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供一種進行基片的顯影處理的顯影方法，其特征在于，包括：對所述基片供給包含有機溶劑的顯影液的步驟，其中，所述基片具有被曝光成規定的圖案的含金屬涂敷膜；和對被供給了所述顯影液的所述基片供給包含有機溶劑的第一清洗液的步驟，所述含金屬涂敷膜...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及電源組件(1)，該電源組件具有：a)多個微波電源(2a，2b，2c，2d，……2n)，多個微波電源中的每個微波電源被設計成生成具有輸出≥100 W和≥頻率300 MHz的微波功率信號，以在等離子體處理室(6)中產生等離子體(7)，...
								
            
							
            
							
						
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								      射頻(RF)發電系統包含產生輸送到負載的RF輸出信號的RF電源。RF功率控制器經配置以產生用以改變所述RF輸出信號的控制信號。所述控制器調整與所述RF輸出信號相關聯的參數，且所述參數根據觸發信號來控制。所述參數在預定數目的倉內調整。所述參數...
								
            
							
            
							
						
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								      提供了用于工件熱處理的系統和方法。在一個示例中，提供了一種用于在處理裝置中對工件執行諸如熱處理工藝、退火處理工藝、氧化處理工藝或還原處理工藝等處理工藝的方法。處理裝置包括等離子體室和處理室。等離子體室和處理室由多個分離格柵或格柵板隔開。分離...
								
            
							
            
							
						
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								      電子部件單元(10)具備：第1端子(20)，與對方構件電連接；第2端子(30)，與布線構件直接或者間接電連接；樹脂部(40)，覆蓋第1端子(20)的一部分和第2端子(30)的一部分；以及電子部件(50)，樹脂部(40)維持第1端子(20)和...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供：能夠改善蓄電裝置的能量密度和輸出特性的電極(10)、電池單元(20)、模塊(31)以及電池包(30)。電極包含集電體(11)和附著于集電體的復合材料層(12)，復合材料層包含含有硅的含Si物質(14)和碳系活性物質(15)。在復...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及一種分散體，該分散體包含i)分散劑；ii)分散在該分散劑i)中的至少一種聚噻吩；其中對于該分散體，Ostwald de l/l/ae/e關系T=K yn中的冪律指數n在0.40至0.65的范圍內，其中T是剪切應力，K是流動稠度系數...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供一種能夠在低電容的層疊陶瓷電容器中容易地設定希望的電容的層疊陶瓷電容器。層疊陶瓷電容器(1)具備：層疊體(2)，包含交替地層疊的電介質層(14)和內部電極層(15)，并具有在層疊方向(T)上相互對置的兩個主面(A)、在與層疊方向(...
								
            
							
            
							
						
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								      制造裝置(100)具備沖頭(12)、配置于沖頭(12)的下方的沖裁模具(14)、配置于沖裁模具(14)的下方的第一保持部(16)、配置于第一保持部(16)的下方且由與第一保持部(16)不同的構件構成的第二保持部(18)、以及在比第一保持部(...
								
            
							
            
							
						
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								      一種片狀磁性部件，其通過在面內方向上排列并在厚度方向上層疊形成為具有短邊和長邊的帶狀的多個納米晶合金薄帶來構成。從上述厚度方向觀察時，上述片狀磁性部件具備具有長度方向和寬度方向的長方形形狀。在上述寬度方向上的上述片狀磁性部件的中央部，上述長...
								
            
							
            
							
						
            • 
					
						
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								      本發明涉及卷繞鐵芯及其制造方法，將彎折的鋼板層疊而成的卷繞形狀的卷繞鐵芯(10)為，在從沿著鋼板的表面的方向觀察所述卷繞形狀的側視中，分別具有四個平面部(4)和與平面部(4)鄰接的角部(3)，由此形成為在中心具有中空部(15)的矩形狀，鋼板...
								
            
							
            
							
						
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          • 
							
							
            
					    		
								
            
								      線圈裝置(100)具有線圈(110)和芯片電容器(120)。線圈(110)由線圈線(111)卷繞而成。芯片電容器(120)具有電極面(121a)。電極面(121a)與線圈(110)電連接。連接部(111b)是從線圈(110)引出的線圈線(1...
								
            
							
            
							
						
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								      一種線圈組件(100)，上述線圈組件包括多個線圈層(S1～S4)，上述多個線圈層在層疊方向上層疊，并且分別具有在與層疊方向(Z)交叉的平面方向(X?Y)上卷繞的彼此并聯連接的多個平面線圈(1～8)，多個線圈層構成多個線圈部(a～d)，上述多...
								
            
							
            
							
						
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								      超導磁體裝置(10)具備：低溫恒溫器(12)，具備以圍繞孔(18)的方式配置于孔(18)的徑向外側的內周壁(12a)及以圍繞內周壁(12a)的方式配置于內周壁(12a)的徑向外側的外周壁(12b)，并在內周壁(12a)與外周壁(12b)之間...
								
            
							
            
							
						
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